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微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機(jī)、電技術(shù)一體化方面的優(yōu)勢(shì)和研究成果為微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)方面的研究和發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。本系在微納米和微機(jī)電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計(jì)等一系列微器件的設(shè)計(jì)、制造、工藝、測(cè)試以及基礎(chǔ)理論等方面進(jìn)行了深入的研究,其它的研究領(lǐng)域還有:微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學(xué)器件、微測(cè)量技術(shù)、小飛機(jī)、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學(xué)以及光盤機(jī)讀寫(xiě)頭微型機(jī)構(gòu)等。
| 名次 | 學(xué)校名稱 | 專業(yè)星級(jí) | 所在地區(qū) | 地區(qū)排名 |
| 1 | 清華大學(xué) | 6星級(jí) | 北京 | 1 |
| 2 | 西北工業(yè)大學(xué) | 5星級(jí) | 陜西 | 1 |
| 3 | 北京航空航天大學(xué) | 4星級(jí) | 北京 | 2 |
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